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有氧退火炉

  • 型   号:HMF
  • 更新时间:2019-11-10
  • 访问次数:183
  • 价   格:

有氧退火炉
蓝宝石晶体具有优异的光学性能、机械性能和化学稳定性,强度高、硬度大、耐冲刷,可在接近 2000 ℃ 高温的恶劣条件下工作,因而被广泛的应用于红外军事装置、卫星空间技术、高强度激光的窗口材料。其独特的晶格结构、优异的力学性能、良好的热学性能使蓝宝石晶体成为实际应用的半导体 GaN/Al2O3 发光二极管 (LED) ,大规模集成电路 SOI 和 SOS 及超导纳米结构薄膜等为理想的衬体

品牌自营品牌价格区间50万-100万
仪器种类真空炉产地类别进口
应用领域地矿,冶金,航天,汽车

有氧退火炉

案例:蓝宝石有氧退火炉

蓝宝石 (Sapphire) 是一种氧化铝 ( α- Al2O3的单晶,又称为刚玉。 蓝宝石晶体具有优异的光学性能、机械性能和化学稳定性,强度高、硬度大、耐冲刷,可在接近 2000  高温的恶劣条件下工作,因而被广泛的应用于红外军事装置、卫星空间技术、高强度激光的窗口材料。其独特的晶格结构、优异的力学性能、良好的热学性能使蓝宝石晶体成为实际应用的半导体 GaN/Al2O3 发光二极管 (LED) ,大规模集成电路 SOI  SOS 及超导纳米结构薄膜等理想的衬底材料。

在蓝宝石衬底的切割、双面研磨以及单面研磨、抛光过程中,尽管部分的加工应力会在下一道加工工序释放,但是这种应力释放是无序释放,同时未释放的加工应力会在晶片表面集聚,影响蓝宝石晶片的翘曲程度,严重的翘曲会在后道加工过程产生破片,影响整个加工循环的晶片质量。 蓝宝石衬底在加工过程中,必须经过退火处理以降低加工应力。

蓝宝石晶棒退火(有氧退火)

  • 去应力:使蓝宝石便于加工,切屑。
  • 消除应力集中,避免晶体自动开裂,以及加工中产生裂纹、爆口等。
  • 退火温度以达到其熔点附近为佳,升温速率不宜过快,直径越大,保温时间应越长;降温时间应大于升温时间,避免再次产生应力。                                                             

去色心:使蓝宝石更透明,透光更好。

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