光学轮廓测量显微镜
轮廓 测量显微镜是 属于 计量仪器，仪器主要采用 双 照明 透、反射
照明方式，通过观察和光学 系统对精密的几何量（ 轮廓 、 长度、角度）进行观察、
分析、测量。 光、机、电一体化 测量仪器， 广泛用干机械、仪表、电子、轻工等
行业，院校、研究所以及计量检 定部门。本仪器能高效率地检测各种形状复杂

光学轮廓测量显微镜

轮廓测量显微镜是属于计量仪器，仪器主要采用双照明透、反射照明方式，通过观察和光学系统对精密的几何量（轮廓、长度、角度）进行观察、分析、测量。

光、机、电一体化测量仪器，广泛用干机械、仪表、电子、轻工等行业，院校、研究所以及计量检 定部门。

本仪器能高效率地检测各种形状复杂工件的轮廓尺寸和表面形状，

如样板、冲压件、凸轮螺纹、齿轮、成型铣刀等、大规模集成电路线宽、小型零件（如钟表零件）及其他精密几何参数的数量。

光学轮廓测量显微镜

一、技术参数

1. 观察筒：正像观察筒，45°铰链式三目，瞳距调节：50mm~76mm，两档分光比

 双目:三目=100：0 或 0:100

2.移动行程范围：  X:100mm;Y:100mm

分辨率 Z 轴不小于 0.02um，XY 轴不小于 0.10um,Optical 不低于 0.40um

3.工作台尺寸： 355×240mm  (玻璃台面尺寸：210×175mm)

4.可检测表面粗糙度：不小于 40nm

5.物镜： 5X、10X、20X、50X、100X

6.总放大倍数 50X-1000X

7.双照明光源，带可变视场光阑与孔径光阑，均可调中心

8. 适配镜：直径：59mm, 0.5 倍，内调焦距：0～3mm 调焦后可锁紧；

感光元件 1/2″，数据采集速度，可达 30 帧/秒，最高分辨率：2048×1536